La plateforme de nano-caractérisation (PFNC) dispose d'une cinquantaine d'équipements complémentaires à l'état de l'art pour étudier les propriétés morphologiques, physiques, chimiques, électriques, de matériaux et de composants innovants pour les micro et nanotechnologies.
Une centaine de chercheurs opèrent ces équipements afin d'accompagner les développements technologiques de start-up, grands groupes, équipementiers désireux de perfectionner leurs instruments de caractérisation.
Ils caractérisent des matériaux avancés, des empilements complexes, de nouvelles architectures, des procédés de fabrication, grâce à des protocoles dédiés d'analyse et de caractérisation. Pour disposer de techniques complémentaires, ils s'appuient si besoin sur l'ESRF, l'ILL ou sur des partenaires académiques.
La plateforme fournit à ses partenaires des résultats et des éléments d'interprétation adaptés à leurs besoins: cartographies 2D à l'échelle atomique, reconstructions 3D multi-échelles, spectres d'analyse, structures cristallographiques, compositions de surfaces, entre autres.
Quelles sont les expertises mises à disposition des industriels?
• Développement de techniques et protocoles de nano-caractérisation
• Préparation d’échantillons avancée, automatisation
• Algorithmes de traitement des données d’analyse
• Matériaux et technologies écoresponsables
©CEA/A. Aubert
Des équipements préindustriels à la pointe
©CEA/A. Aubert
• Faisceau d’Ions Focalisé Helios 5 FX de ThermoFisher Scientific pour la préparation de lames ultra minces
• Microscopie électronique en transmission analytique corrigée en aberrations : NeoARM de JEOL
• Morphologie 3D par diffusion des rayons X aux petits angles: Xeuss 2.0 de Xenocs
• Spectromètre de masse à temps vol en mode tandem : nanoTOF de Physical Electronics
• Spectromètre de photoélectrons de haute énergie des interfaces enterrées : Quantes de Physical Electronics
Comment travailler avec la plateforme de nano-caractérisation ?
Les équipes du CEA (Irig, Leti, Liten) accompagnent les besoins des industriels en innovation sur toutes les étapes de développement à travers des contrats bilatéraux ou des laboratoires communs. La plateforme compte une dizaine de partenaires, parmi eux : Physical Electronics (ULVAC-PHI) et le laboratoire SIMAP au travers de l’équipement SATenAURA.
©CEA/A. Aubert