PsD-DRT-10-5629
| Domaine de recherche | Matière ultra-divisée, physico-chimie des matériaux
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| Domaine-S | Matériaux et applications
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| Thème | Physique de l’état condensé, chimie et nanosciences
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| Theme-S | Sciences pour l’ingénieur
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| Domaine | Matière ultra-divisée, physico-chimie des matériaux
Physique de l’état condensé, chimie et nanosciences
Matériaux et applications
Sciences pour l’ingénieur
DRT
DPFT
SDEP
LDJ
Grenoble
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| Intitulé de la proposition | Elaboration de nanofils Si pour des applications en microélectronique
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| Resumé | La réalisation de capacités intégrées présentant une forte capacité surfacique nécessite un déploiement de la surface des électrodes. Dans ce travail, nous proposons d’augmenter cette surface spécifique en intégrant dans les capacités des nanofils de Si.Une première partie de ce travail sera consacrée à l’étude de compréhension et à l’optimisation du procédé de croissance de nanofils de silicium par CVD. En parallèle, les propriétés des nanofils de silicium obtenus par gravure électrochimique seront évaluées et seront comparés à celles des nanofils obtenues par CVD. Selon les caractéristiques électriques obtenues, différentes stratégies (métallisation, silicuration…) seront envisagées afin d’améliorer leur conductivité électrique.
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| Informations pratiques | Département des Plateformes Technologiques (LETI)
Service des procédés de Dépôts
Laboratoire
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| Date début de la proposition | 09/01/2010 |
| email personne à contacter | vincent.jousseaume@cea.fr
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| Personne à contacter | JOUSSEAUME
Vincent
CEA
DRT/DPFT/SDEP/LDJ
17, Avenue des Martyrs
38054 Grenoble cedex 9
0438789522
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