Ce projet de recherche du labex MINOS est adossé à la collaboration entre les équipes du CEA-LETI et du LMGP. L’objectif principal de ce projet de recherche est de mettre au point et de partager des méthodologies d’analyse élémentaire quantitatives par XRF de couches ultra-minces pour accélérer et fiabiliser les développements de procédés de synthèse au Leti et au LMGP. Le travail demandé inclura principalement le développement de méthodologies d’analyse élémentaire quantitatives, avec des problématiques instrumentales, de modélisation et de stratégies d’étalonnage. Ces méthodologies devront être optimisées pour : i/ couches ultrafines (< 0.5 nm) mono-élément de Lanthane et d’Aluminium qui seront intégrées dans l’empilement de grille du CMOS 10 nm ; ii/ les couches minces (5-50 nm) d'oxydes de structure pérovskite (nickelate de lanthane, La2NiO4) et fluorite (zircone stabilisée à l'oxyde d'yttrium et oxyde de cérium dopé au gadolinium) développés par le LMGP pour les applications mémoires (OxRAM) ; iii/ couches ultra-minces de sulfures lamellaires synthétisées et étudiées au LMGP (GaxS, TixS) et au Leti (matériaux 2D).