" Les progrès technologiques dans le domaine de l'ingénierie des contraintes, notamment pour les dispositifs ultra-réduits ou les architectures tridimensionnelles (nanofils superposés), doivent être accompagnés par des techniques de pointe pour la caractérisation des déformations à l'échelle nanométrique. Ces avancées reposent également sur une forte ingénierie des substrats, plus particulièrement sur la croissance par épitaxie d'alliages à base de silicium (Si) et de germanium (Ge), nécessitant une quantification locale de ces éléments. Le microscope électronique en transmission (MET) est la technique de choix pour de telles études à l'échelle nanométrique d'autant plus que les méthodes de mesure de déformations et de composition dans le MET sont déjà à des états avancés. Les efforts déployés aujourd'hui visent particulièrement à optimiser les outils d'acquisition du MET, notamment en terme de contrôle de l'équipement par un système de codage avancé, afin d'avoir accès de manière quantitative et simultanée à l'ensemble des informations. Ce stage consiste à implémenter, synchroniser et acquérir en mode précession dans le MET les clichés de diffraction pour la mesure de déformations et les spectres EDX pour la composition chimique. L'apport de la précession sur la précision de la quantification chimique sera évalué de manière détaillée. La méthode sera implémentée sur le nouveau MET FEI Themis muni à la fois d'un système de détection EDX à base de 4 détecteurs de nouvelle génération et d'un correcteur d'aberration sphérique de la sonde électronique pour atteindre une résolution spatiale de l'ordre de 1 nm. Ce stage, financé par STMicroelectronics, se déroulera sur la plateforme de nanocaractérisation (PFNC) du CEA Grenoble qui réunit sur 2200m2 une quarantaine d'équipements lourds de caractérisation au meilleur niveau international, opérés par 80 chercheurs et techniciens. La PFNC est un site unique en Europe qui donnera l'opportunité à l'étudiant d'être formé sur des équipements de haute-technologie, utilisés dans toutes les plus grandes entreprises de microélectronique telle que STMicroelectronics. Le savoir-faire et l'expérience acquis par l'étudiant lors de ce stage, et potentiellement lors d'une poursuite en thèse, seront un atout majeur pour son intégration sur le marché du travail. "