"Cadre de la collaboration et contexte :Le LETI (Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information) est un laboratoire du CEA dédié aux recherches en microélectronique, microsystèmes et optronique (www.leti.fr). Une des spécificités du laboratoire est la maîtrise de de la technologie d'assemblage par mise en contact intime, à l'échelle atomique, de 2 surfaces. Cette technologie est appelée collage direct et est appliquée au transfert de circuits, à la fabrication de substrats innovants et à la réalisation de MEMS. Pour cette dernière application, il est fort intéressant de proposer des procédés de collage de membranes ultra fines sur des cavités pré-réalisées. La déformation des membranes formées au-dessus des cavités est alors un facteur clé de la fonctionnalité du dispositif final. De plus, les cavités sont également un collecteur des produits de dégazage à l'interface de collage et l'étude de leur atmosphère pourra enrichir la connaissance des mécanismes du collage direct.Travail demandé :En premier lieu, le (la) stagiaire sera formé(e) à la technologie du collage direct et sur les équipements microélectroniques permettant de la mettre en œuvre. Il établira un plan d'expériences et réalisera les collages selon les différentes variantes. En particulier, il étudiera les atmosphères de collage, la nature des couches de collage et les recuits de consolidation. Il caractérisera ensuite la déformation des membranes (interférométrie) et l'atmosphère des cavités (RGA). Il procèdera ensuite à l'analyse des résultats et à une synthèse selon l'environnement des cavités (en réseau / isolées) et l'épaisseur de la membrane.De cette synthèse, il est attendu la détermination de points de fonctionnements pour l'obtention de membranes planes, la proposition d'abaques de déformation en fonction des conditions de collage. Une autre sortie attendue est la qualification en nature et la quantification des gaz collectés dans la cavité.La majorité des travaux de ce stage seront réalisés en salle blanche. "