"Cadre de la collaboration et contexte :Dans le cadre d'un accord de collaboration avec l'équipementier Horiba Jobin Yvon, le LETI, institut du CEA Tech  - Grenoble, développe des protocoles de métrologie et de caractérisation sur un équipement innovant de profilométrie chimique rapide. Actuellement, aucune technique ne permet un accès rapide, en salle blanche, au profil de composition dans des empilements complexes caractéristiques des technologies CMOS, mémoires, puissance, photonique et MEMS avancées. La technique de profilométrie (Plasma Profiling Time Of Flight Mass Spectroscopy) qui sera étudiée dans le cadre de ce stage couple érosion et ionisation de l'échantillon par un plasma d'argon de faible énergie, et analyse des ions produits par spectrométrie de masse en temps de vol. Elle présente, entre autres avantages, une capacité d'analyse très rapide (< 1 minute par échantillon) avec des effets de matrice très limités (gamme de RSF entre 1 et 10), ce qui permet une analyse semi-quantitative aisée. Cette technique donne de très bons résultats pour les éléments de Z = 13 (Al). Des résultats encourageants ont récemment été obtenus pour la mesure des éléments légers (H, He, B, O, C, N, ...) et les performances de l'instrument devraient être sensiblement améliorées par l'utilisation de nouveaux gaz porteurs. Travail demandé :L'objectif du stage est de développer les protocoles de mesure par technique PP-TOFMS dans le cas spécifique de profils chimiques des éléments légers (Z