"Les microsystèmes électromécaniques (MEMS) sont des composants qui envahissent petit à petit notre quotidien. Nombre d'entre eux sont aujourd'hui matures et d'ores et déjà commercialisés. Ils peuvent être les accéléromètres dans les airbags de nos voitures (Analog Devices) ou les têtes d'éjection de l'encre de nos imprimantes (EPSON). Ils peuvent constituer la station inertielle de nos manettes de jeu ou de nos téléphones portables (accéléromètre et gyroscope STMicroelectronics), des micro-pompes à insuline (Debiotech), ou encore des pico-projecteurs (TI, Hitachi)... Dans le cadre du projet Européen Lab4MEMSII (http://www.lab4mems2.ite.waw.pl/overview.html), nous développons des micro-miroirs MEMS, notamment pour des applications de micro scanners. Le but de ce stage est de caractériser les composants réalisés par le CEA dans le cadre de ce projet. Il s'agira majoritairement de faire la caractérisation statique (déflexion sous une tension DC donnée) et dynamique (fréquence et amplitude de déformation à la résonance) de ces démonstrateurs. Pour ce faire, le stagiaire pourra notamment utiliser un interféromètre optique WYKO ainsi qu'un vibromètre laser POLYTEC pour ces mesures électromécaniques. Différents composants seront disponibles. Certains utilisent un actionneur piézoélectrique en PZT, d'autres en polymère électro-actif. Une comparaison de ces deux matériaux d'actionneur sera donc demandée. Une réflexion sur les propriétés mécaniques et piézoélectriques ""idéales"" du polymère électro actif devra être menée, notamment via la post simulation par éléments finis (COMSOL) du comportement électromécanique des micro-miroirs. D'autre part, la mesure nous permettra de préciser certains paramètres design, par l'étude de démonstrateurs présentant différentes dimensions. Ce type d'étude permettra d'alimenter la réflexion sur l'optimisation du design des micro-miroirs afin d'aller vers une seconde génération de composants, plus performant. "