BaroSense
Capteur barométrique en silicium, miniaturisé, faible consommation et haute résolution
Ce capteur barométrique faible consommation miniaturisé (moins de 2 mm²) est réalisé en technologie silicium. Adapté à des gammes de pression allant du bar à plusieurs milliers de bars, il est extrêmement sensible et mesure des différences de pression équivalant à un différentiel d’altitude d’un centimètre. Il est le seul du marché à être doté d’une fonction d’auto-test qui garantit la fiabilité de ses mesures.
La pression extérieure est calculée par mesure de la déformation d’une membrane qui ferme un espace sous vide. Cette membrane est protégée des ruptures dues à des surpressions par des butées mécaniques. Le capteur fonctionne jusqu’à 150°C.
Nouveautés
- Très hautes performances en sensibilité et en résolution : détection de différentiels d’altitude de l’ordre du centimètre, utilisable notamment pour détecter la chute de personne ;
- seul capteur barométrique du marché doté d’une fonction d’auto-test (via un système capacitif découplé du capteur) ;
- gamme de pression étendue, du bar à plusieurs milliers de bars, adaptable par design ; par un moyen ultra-basse consommation (très basse fréquence) ;
- compatible haute température ;
- co-intégrable avec un ou plusieurs accéléromètres sur un seul élément silicium.
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Prochaines étapes
- Projets de valorisation en cours avec des partenaires industriels : customisation du capteur pour une gamme de pressions, co-intégration avec un accéléromètre ;
- preuves de concept réalisables sur des lots de capteurs processés en salle blanche au CEA-Leti, avec validation des étapes de fabrication et estimation des rendements de production ;
- technologie réutilisable pour développer des capteurs différentiels haute performance. Application possible : mesure de débits ;
- développements réalisables sous 12 à 18 mois.
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BaroSense: a revolution in barometric pressure sensor