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Projet FEDER: ALE/ALD


​​​​​​​ Financement FEDER et PEPR Quantique


Équipement de nanofabrication ALE/ALD à la pointe de la technologie


Publié le 11 décembre 2025

​Le calcul quantique promet de nombreuses avancées calculatoires, allant de l'optimisation algorithmique jusqu'au développement de catalyseurs chimiques. Il est pour cela nécessaire d'avoir un grand nombre de bits quantiques, qubits, dans un même processeur.

L'équipe LaTEQS (CEA-Irig/PHELIQS)​  étudie des processeurs élémentaires dans des matériaux semiconducteurs, ce qui permet l'utilisation des capacités de production de la micro-électronique pour la fabrication à grande échelle.

Les processeurs quantiques à base d'alliages de Silicium et de Germanium en particulier, ont montré leur potentiel ces dernières années. Ces qubits particulièrement prometteurs nécessitent une nano-fabrication très fine et particulière.

L'équipement ALE-ALD, unique en France, est co-financé par la région Auvergne-Rhône-Alpes et l'Union Européenne FEDER, ainsi que par le PEPR Quantique. Il promet de révolutionner la qualité des processeurs quantiques fabriqués par le CEA. Il autorise une gravure ainsi qu'un dépôt de matériaux de manière extrêmement contrôlée et délicate, avec une précision atomique. Cet équipement installé en salle blanche dédiée, permet l'utilisation de substrats allant jusqu'à 200 ​mm, compatibles avec les salles blanches semi-industrielles de la région.

De par sa versatilité, il deviendra central dans la fabrication de nombreux dispositifs quantiques parmi la communauté environnante, et il sera sans aucun doute un centre d'intérêt permettant de créer un écosystème et une communauté d'experts, autour de cet équipement novateur.



 

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